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真空泵的广泛应用

Mar.19,2019浏览量:返回上一页

中国生产真空泵的厂家很多,我国真空泵制造业有着悠久的历史和雄厚的基础,国内真空泵已在各个领域得到应用和验证,部分泵也出口到国外,得到了国外用户的认可和好评。可以说,中国真空泵制造业在国内外市场上还有很大的发展空间。

1.液环泵

在国外,液体环泵的销售占真空泵市场的14%,仅次于干泵。由于液体环泵多为铸件,加工要求不高,属于劳动密集型产品,因此国内液环泵在价格上具有竞争优势。关键是要改进设计,真空泵品牌,减少体积,减轻重量,提高效率,降低能耗。

2.滑阀泵

真空泵型滑动阀市场在国内外各种真空炉、涂包机和烘干、浸渍设备中均作为前置泵使用,但滑动阀泵铸件重量大,加工工作量大,因此国外真空厂正在中国寻找合作伙伴。为使国产滑阀泵进入国际市场,2BVA系列水环真空泵,有必要进一步降低泵的振动和噪声,消除喷油和泄漏,提高滑阀泵长期运行的可靠性。

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3.直联旋片泵

随着真空技术在各种应用领域的不断扩展,对直接耦合旋片泵的需求不断增加。由于这样的泵数量很多,加工和装配工作量很大,价格很低。因此,一些国外真空制造商在中国建立了专业工厂。国内中小型直联式旋叶泵已通过技术壁垒,其价格比国外泵便宜得多。因此,国产水泵仍然具有竞争优势。关键是解决轴封漏油问题,解决旋叶材料和真空泵油的性能质量问题,保证直联泵在高速、高温下性能稳定、运行可靠,进一步提高国产直联旋叶泵的水蒸气抽汽性能。能力。

4.罗茨泵

罗茨泵的产值不大,但国外罗茨泵的报价远高于国产泵。国内外几乎所有的大小型高真空和中真空系统,为了缩短抽运时间,提高生产效率,都配备了罗茨泵,因此,国内罗茨泵必须在占领国内市场的基础上进入国际市场。这样,必须进一步降低国产罗茨泵的振动和噪声,解决轴封漏油问题,提高泵的外观质量。莱宝真空泵。提高泵的光洁度。此外,在一些国家和地区还需要考虑供电频率为60 Hz的情况下,还要保证罗茨泵在长时间提速的情况下的可靠性。

目前,国内空冷直排罗茨泵发展迅速,技术成熟。由于泵在排气口下设有气体冷却器,部分冷却后的气体通过管道返回泵室冷却转子,使压缩热量平衡,使泵能直接排出空气。为了满足不同极限真空度的要求,罗茨泵可串联使用。一般在罗茨泵前加装气冷直排罗茨泵,使罗茨泵达到的极限真空度比前泵高一个数量级。这种类型的泵实际上是干泵,因为泵室中没有工作介质。在石油、化工、塑料、农药、汽轮机转子动平衡、航天空间模拟等领域,对这种空冷垂直排气管泵和机组进行了长期的试验研究。因此,黑龙江真空泵应在我国大力推广应用。

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5.分子泵

分子泵已在国外半导体领域的许多工艺中被用来替代低温泵。特别是溅射、蚀刻和lcvd装置,使用复合分子泵和牵引泵作为主泵。

由于分子泵的抽速仅为相同口径低温泵抽速的四分之一,因此分子泵的抽速比低温泵的抽速长。为了提高分子泵的抽速,国外在分子泵进口侧安装了-130℃~-150℃的低温冷板,称为低温分子泵。蒸汽由低温板捕获,其它气体由分子泵抽提。该低温分子泵在真空镀膜装置中的应用,不仅提高了生产效率,而且提高了薄膜质量。分子泵应建立从小到大的完整系列,并研发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵、淄博水环式真空泵以满足不同场合的需要。

6.干泵

国外干泵市场的持续增长主要是由半导体产业、化工产业和薄膜产业的快速发展带动的。在日本,干式真空泵已被用于替代半导体工业中的油封机械泵。超过45%的欧美半导体工业用干式真空泵型机械泵取代了油封式机械泵,极大地提高了产品的性能和质量。极限压力为10~10~2 Pa,泵速为20~500 m~3/h。据统计,国产干式泵的应用率不足1%。国内半导体工业用干式泵全部从国外进口,价格昂贵。


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